في العديد من المصانع، متطلبات الفراغ ليست ثابتة.
تتطلب بعض العمليات فراغًا عاليًا، بينما يحتاج البعض الآخر فقط إلى الحفاظ على حالة معينة. إذا كانت المعدات تعمل بأقصى سرعة بشكل مستمر، فستكون تكاليف الكهرباء مرتفعة، وسيتم تسريع تآكل المعدات.
تكمن ميزة مضخة التفريغ اللولبية الجافة ذات التردد المتغير في -
لا يعمل بكامل طاقته طوال الوقت، ولكنه يقوم تلقائيًا بضبط سرعته وفقًا للاحتياجات الفعلية. تعمل مضخة التفريغ عند الطلب، مما يوفر الكهرباء ويتجنب العمل غير الضروري.
عندما يكون حمل النظام منخفضًا، تتباطأ مضخة التفريغ تلقائيًا، مما يقلل من استهلاك الطاقة غير الضروري؛
إذا كانت العملية تتطلب قدرة ضخ أكبر، فيمكنها الاستجابة بسرعة، مما يضمن عدم تعطيل إيقاع الإنتاج.
لا تؤدي طريقة التحكم في التردد المتغير هذه إلى تقليل تكاليف الكهرباء بشكل كبير فحسب، بل تجعل النظام بأكمله يعمل بسلاسة وهدوء أكبر. وعلى المدى الطويل، فإنه يحمي أيضًا المعدات نفسها.
تتميز مضخة التفريغ اللولبية الجافة ذات التردد المتغير بواجهة تحكم بديهية، مما يسمح للمستخدمين بفهم حالة التشغيل والمعلمات بسهولة في لمحة. لا يحتاج المشغلون إلى تدريب متخصص ومعقد؛ إنه سهل الاستخدام للغاية، كما أن التعديلات والمراقبة اليومية مريحة.
تصنيع أشباه الموصلات والإلكترونيات: النقش، الأمراض القلبية الوعائية، PECVD، وغيرها من العمليات
خطوط إنتاج الخلايا الكهروضوئية و LED: ترسيب الأغشية الرقيقة، التنظيف، والإخلاء
العمليات الكيميائية: معالجة الغاز، التفاعل الفراغي، استخلاص المذيبات
الطلاء والطلاء والتطبيقات الصناعية عالية النظافة
1. قصر مسار الغاز وتقليل تلوث الغاز المعالج
بالمقارنة مع الأنواع الأخرى من مضخة التفريغ الجافة، فإن مضخة التفريغ اللولبية HANBELL لديها أقصر مسار للغاز في مضخة التفريغ وهذا يمكن أن يقلل من تلوث غاز المعالجة. يمكن للدوارات اللولبية أن تلعب دور آلية نقل المسحوق، فنحن نعمل بشكل جيد حتى مع وجود الكثير من التلوث داخل المضخة.
2. أداء ممتاز للمضخة بسبب تأثيرات الختم الممتازة لملف الدوار
يمكن لملف الدوار الحاصل على براءة اختراع أن يوفر تأثيرات إغلاق ممتازة للدوار وبالتالي يُسمح بخلوص أكبر بينهما. يمكن تقليل تآكل دوار المضخة وانحشار الدوار بسبب تلوث العملية عن طريق الخلوص الأكبر المسموح به.
3. الهيكل البسيط يقلل من فرصة توقف المضخة بشكل غير متوقع ويسهل عملية الإصلاح.
يتكون الفراغ من النوع اللولبي من زوج من الدوارات اللولبية وتكون ألواح العزل مطلوبة في مراحل مختلفة من غرفة الضخ، ويمكن أيضًا تجنب تلوث العملية بين الدوارات وألواح العزل. يعد إصلاح المضخة الجافة Hanbell أسهل بكثير من أي نوع آخر من المضخات الجافة، وبالتالي فإن وقت الإصلاح أقصر والتكلفة أقل.
4. يمكن لوحدة التحكم في المعالجات الدقيقة وبرنامج التحكم عن بعد حماية المضخة من المواقف غير الطبيعية.
توفر وحدة تحكم المعالجات الدقيقة الكثير من معلمات المضخة لتشغيل مراقبة الحالة. يمكن تشغيل المضخة ومراقبتها بسهولة من خلال لوحة التشغيل. يمكن لبرنامج التحكم عن بعد أن يساعد العميل في مراقبة حالة تشغيل المضخة عن بعد.
1. يتم إستخدام سائل تبريد خاص للتبريد، لتجنب التآكل المحتمل للهيكل بواسطة ماء التبريد.
2. واجهة التشغيل المتنقلة مريحة للتشغيل. إنها تعرض حالة العمل الفعلية لمضخة التفريغ ويمكن عرضها باللغتين الصينية والإنجليزية، مما يلبي احتياجات العملاء حقًا.
3. موصل الطاقة من الدرجة العسكرية، آمن ومريح.
4. سخان النيتروجين، مما يجعل مضخة التفريغ أكثر ملاءمة لعمليات أشباه الموصلات مثل CVD وPECVD.
5. إشارة التحكم وواجهة إشارة الاتصال، مما يتيح المراقبة عن بعد لمضخة التفريغ.
| نموذج | وحدة | PS80 | PS160 | PS180 | |
| سرعة الضخ (50 هرتز / 60 هرتز) | لتر/دقيقة | 1300/1600 | 2150/2600 | 2500/3000 | |
| م³/ساعة | 80/96 | 140/156 | 150/180 | ||
| cfm | 48/57 | 82/92 | 88/105 | ||
| الضغط الزمني | تور | ≥7.5*10⁻3 | |||
| مليبار | ≥1*10-2 | ||||
| بنسلفانيا | ≥1 | ||||
| محرك | تكرار | هرتز | 50/60 | ||
| الجهد االكهربى | V | 220 ~ 440 | |||
| قوة | حصان | 4 | 6 | 6 | |
| كيلوواط | 2.98 | 4.47 | 4.47 | ||
| اتصال | مدخل | NW50 | |||
| أوتلير | NW40 | ||||
| تبريد ماء |
تدفق | لتر/دقيقة | 3 ~ 7 | ||
| ضغط | كجم/سم² | 2 ~ 4 | |||
| درجة حرارة | ℃ | 18 ~ 30 | |||
| اتصال | RC3/8" | ||||
| ن2 | ضغط | الآلام والكروب الذهنية | 0.15~0.2 | ||
| التدفق المخفف | لتر/دقيقة | 0~60 | |||
| تدفق الختم | لتر/دقيقة | 0~20 | |||
| اتصال | سواجيلوك 1/4" | ||||
| خافت.الطول*العرض*الارتفاع | مم | 814*380*663 | 895*405*678 | 920*425*650 | |
| وزن | كجم | 280 | 300 | 320 | |
| ضوضاء | ديسيبل (أ) | ≥68 | ≥70 | ≥70 | |
| ملاحظات: 1. مستويات الضوضاء المذكورة أعلاه مخصصة للموديلات التي تحتوي على محرك مبرد بالماء وبدون غلاف. 2. تركيب أجهزة عزل الصوت على النماذج المذكورة أعلاه يمكن أن يقلل من الضوضاء بنسبة 3-4 ديسيبل. | |||||
| واجهة | SEMIE73-0299 | ||||
| معدل تسرب المضخة | Mbar.1/s | 1*10-5 | |||
| درجة حرارة التشغيل | ℃ | 5 ~ 40 | |||
| عملية الرطوبة | ر.س | أقل من 90% | |||
| نموذج | وحدة | PS602 | PS902 | PS1302 | PS1802 | |
| سرعة الضخ (50 هرتز/60 هرتز) | لتر/دقيقة | 8300/10000 | 12500/15000 | 17500/21000 | 25000/33300 | |
| م³/ساعة | 500/600 | 750/900 | 1050/1260 | 1500/1800 | ||
| cfm | 294/353 | 441/530 | 618/742 | 883/1060 | ||
| الضغط الزمني | تور | .57.5*10⁻⁴ | ||||
| مليبار | ≥1*10⁻³ | |||||
| بنسلفانيا | .10.1 | |||||
| محرك | تكرار | هرتز | 50/60 | |||
| الجهد االكهربى | V | 220 ~ 440 | ||||
| قوة | حصان | 4+4 | 6+4 | 6+6 | 6+6 | |
| كيلوواط | 2.98+2.98 | 4.47+2.98 | 4.47+4.47 | 4.47+4.47 | ||
| اتصال | مدخل | IS0100 (انسحب) | IS0160 (انسحب) | |||
| أوتلير | NW40 | |||||
| تبريد ماء |
تدفق | لتر/دقيقة | 3 ~ 7 | |||
| ضغط | كجم/سم² | 2 ~ 4 | ||||
| درجة حرارة | ℃ | 15 ~ 30 | ||||
| اتصال | RC3/8" | |||||
| ن2 | ضغط | الآلام والكروب الذهنية | 0.15~0.2 | |||
| التدفق المخفف | لتر/دقيقة | 0~60 | ||||
| تدفق الختم | لتر/دقيقة | 0~20 | ||||
| اتصال | سواجيلوك 1/4" | |||||
| خافت.الطول*العرض*الارتفاع | مم | 814*380*865 | 895*380*915 | 920*430*957 | 920*430*1030 | |
| وزن | كجم | 450 | 520 | 540 | 545 | |
| ضوضاء | ديسيبل (أ) | ≥70 | ≥70 | ≥70 | ≥70 | |
| ملاحظات: 1. مستويات الضوضاء المذكورة أعلاه مخصصة للموديلات التي تحتوي على محرك مبرد بالماء وبدون غلاف. 2. تركيب أجهزة عزل الصوت على النماذج المذكورة أعلاه يمكن أن يقلل من الضوضاء بنسبة 3-4 ديسيبل. | ||||||
| واجهة | SEMIE73-0299 | |||||
| درجة حرارة التشغيل | ℃ | 5 ~ 40 | ||||
| عملية الرطوبة | ر.س | أقل من 90% | ||||
مضخة التفريغ اللولبية الجافة، يمكن أن تكون بمحرك مبرد بالماء (مقاوم للانفجار) أو محرك مبرد بالهواء (مقاوم للانفجار)، سرعة ضخ عالية في الضغط العالي، استهلاك منخفض للطاقة، ضوضاء منخفضة.
TFT-LCD، لوحة اللمس
الشمسية
النظام المعدني
طلاء
عمليات البلازما
عملية التجفيف
التكنولوجيا الحيوية / الأدوية
الصناعة الكيميائية
| نموذج | وحدة | بي دي120 | بي دي 200 | بي دي 300 | بي دي 500 | PD650 | بي دي 800 | |
| سرعة الضخ (50 هرتز/60 هرتز) | لتر/دقيقة | 1667/2000 | 2830/3400 | 4167/5000 | 7000/8333 | 9030/10840 | 11011/13233 | |
| م³/ساعة | 100/120 | 167/200 | 250/300 | 420/500 | 540/650 | 680/800 | ||
| cfm | 59/71 | 98/117 | 147/176 | 248/295 | 371/382 | 393/471 | ||
| الضغط الزمني | تور | ≥7.5*10-3 | ||||||
| مليبار | ≥1*10-2 | |||||||
| بنسلفانيا | ≥1 | |||||||
| محرك | تكرار | هرتز | 50/60 | |||||
| الجهد االكهربى | V | 220 ~ 380 ~ 440 | ||||||
| قوة | حصان | 4/5.3 | 6/7.5 | 8/10 | 15/20 | 25/30 | 25/30 | |
| كيلوواط | 2.98/4 | 4.47/5.5 | 6.7/7.5 | 11/15 | 18.5/22 | 18.5/22 | ||
| قوة | كيلوواط | 1.6/2 | 2.2/3 | 3.6/4.2 | 6/7 | 10/13 | 11/14 | |
| اتصال | مدخل | NW50 | NW50 | ISO63 | ISO80 | ايزو100 | ايزو100 | |
| أوتلير | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ISO63 | ISO63 | ||
| تبريد ماء |
اتصال | RC3/8" | RC1/2" | |||||
| ضغط | كجم/سم² | 2.0 ~ 4.0 | ||||||
| درجة حرارة | ℃ | 3slm18 درجة مئوية ~ 7slm28 درجة مئوية | 6slm18°C~15slm28°C | |||||
| تدفق | لتر/دقيقة | |||||||
| ن2 | ضغط | كجم/سم² | 0.15~0.2 | |||||
| التدفق المخفف | لتر/دقيقة | حسب العملية | ||||||
| تدفق الختم | لتر/دقيقة | 10 | ||||||
| اتصال | سواجيلوك 1/4" | |||||||
| خافت.الطول*العرض*الارتفاع | مم | 814*380*663 | 920*430*674 | 1075*430*650 | 1346*538.4*886 | 1831*610*735 | 1831*610*735 | |
| وزن | كجم | 280 | 345 | 390 | 550 | 1050 | 1050 | |
| ضوضاء | ديسيبل (أ) | 68 | <70 | <70 | <75 | <80 | <80 | |
| درجة حرارة التشغيل | ℃ | 5 ~ 40 درجة مئوية | ||||||
| عملية الرطوبة | ر.س | أقل من 90% | ||||||

| منتج | وحدة | بي دي 300 | بي دي 500 | PD1902 | PD2152 | PD3052 | PD3652 |
| مضخة جافة | م³/ساعة | 330 | 500 | 330 | 500 | 500 | 500 |
| مضخة معززة | م³/ساعة | 1800 | 1800 | 3000 | 3600 | ||
| سرعة الضخ القصوى | م³/ساعة | 330 | 500 | 1900 | 2100 | 3000 | 3600 |
| لتر / دقيقة | 5500 | 8300 | 32000 | 35000 | 50000 | 60000 | |
| الضغط النهائي | تور | 7.5x10-3 | 7.5x10-3 | 7.5x10-4 | 7.5x10-4 | 7.5x10-4 | 7.5x10-4 |
| استهلاك الطاقة | كيلوواط | 4.5 | 7.7 | 5.3 | 8.5 | 8.8 | 9.0 |
| مدخل | لذا | 63 | 80 | 160 | 160 | 200 | 200 |
| مَنفَذ | شمال غرب | 40 | 50 | 40 | 50 | 50 | 50 |
| البعد (مم) | L | 1055 | 1505 | 1055 | 1505 | 1505 | 1505 |
| W | 430 | 525 | 430 | 525 | 525 | 525 | |
| H | 560 | 515 | 1055 | 790 | 965 | 965 | |
| وزن | كجم | 350 | 500 | 560 | 730 | 1000 | 1020 |
1. تتميز مضخات PR بآلية ضخ عالية الجودة وخالية من الزيت.
2. أداء ممتاز للمضخة بسبب تأثيرات الختم الممتازة لملف التعريف.
3. التشغيل عند ضغوط منخفضة نسبيًا يجعله موثوقًا للغاية
4. عملية هادئة وخالية من الاهتزاز
طلاء فراغ، فرن فراغ، عملية حرارية، صيدلانية، كيميائية، موصلات شبه موصلة، TFT/LCD/LED والخلايا الشمسية، إلخ.
| نموذج | وحدة | PR600 | PR900 | PR1300 | بي آر 1800 | PR3000 | PR7000 | |
| سرعة الضخ (50 هرتز / 60 هرتز) | لتر/دقيقة | 13000 | 20000 | 26000 | 33000 | 63000 | 140000 | |
| م³/ساعة | 800 | 1200 | 1600 | 2000 | 3800 | 8400 | ||
| cfm | 470 | 706 | 941 | 1176 | 2235 | 4947 | ||
| الضغط الزمني | تور | .57.5*10⁴ | ||||||
| مليبار | ≥1*10⁻³ | |||||||
| بنسلفانيا | .10.1 | |||||||
| محرك | تكرار | هرتز | 50/60 | |||||
| الجهد االكهربى | V | 220 ~ 440 | ||||||
| قوة | حصان | 4 | 4 | 6 | 6 | 8/20 | 20 | |
| كيلوواط | 2.98 | 2.98 | 4.47 | 4.47 | 6.7/15 | 15 | ||
| استهلاك الطاقة الخامل | كيلوواط | 1.7 | ||||||
| اتصال | مدخل | IS0100 | ايزو160 | ايزو 200 | 320 إسو-ك | |||
| أوتلير | IS0063 | ايزو100 | IS0160 | 160 إسو-ك | ||||
| خافت.الطول*العرض*الارتفاع |
مم |
721*322*233 |
778*360*250 |
848*360*272 |
778*360*272 |
1142*510*358 | 1490*669*490 | |
| وزن | كجم | 160 | 210 |
220 |
225 |
570 | 880 | |
| ضوضاء | ديسيبل (أ) |
≥60 |
≥60 |
≥62 |
≥62 |
≥65 |
≥70 |
|
| ملاحظات: 1. مستويات الضوضاء المذكورة أعلاه مخصصة للموديلات التي تحتوي على محرك مبرد بالماء وبدون غلاف. 2. تركيب أجهزة عزل الصوت على النماذج المذكورة أعلاه يمكن أن يقلل من الضوضاء بنسبة 3-4 ديسيبل. | ||||||||
| معدل تسرب المضخة | Mbar.1/s | 1*10⁵ | ||||||
| درجة حرارة التشغيل | ℃ | 5 ~ 40 | ||||||
| عملية الرطوبة RH | ر.س | أقل من 90% | ||||||
| نموذج | وحدة | بي إم إف100 | بي إم إف120 | PMF612 | |
| سرعة الضخ | لتر/دقيقة | 1666 | 1933 | 10000 | |
| م³/ساعة | 100 | 116 | 600 | ||
| cfm | 59 | 69 | 353 | ||
| الضغط النهائي | تور | .57.5×10-3 | .57.5×10-3 | .57.5×10-4 | |
| مليبار | ≥1×10-2 | ≥1×10-2 | ≥1×10-3 | ||
| محرك | الجهد االكهربى | V | 220 فولت/380 فولت | 220 فولت/380 فولت | 220 فولت/380 فولت |
| القوة المقدرة | كيلوواط | 2.2 | 2.2 | 2.2+2.2 | |
| اتصال | مدخل | NW50 | NW50 | ISO80 | |
| مَنفَذ | NW25 | NW25 | NW40 | ||
| مياه التبريد خافت. |
ضغط | كجم/سم² | 2.0-4.0(△P>1 كجم/سم²) | 2.0-4.0(△P>1 كجم/سم²) | 2.0-4.0(△P>1 كجم/سم²) |
| Min.Flow | لتر/دقيقة | 1 | 1 | 1 | |
| درجة حرارة | ℃ | 20 درجة مئوية 2 لتر/دقيقة ~ 30 درجة مئوية 5 لتر/دقيقة |
20 درجة مئوية 2 لتر دقيقة ~ 30 درجة مئوية 5 لتر/دقيقة |
20 درجة مئوية 2 لتر/دقيقة ~ 30 درجة مئوية 5 لتر/دقيقة |
|
| كوميكشن | RC1/4" | RC1/4" | RC1/4" | ||
| الطول × العرض × الارتفاع | مم | 450×230×275 | 450×230×275 | 530×230×520 | |
| وزن | كجم | 60 | 60 | 120 | |
| نوسيس | ديسيبل | 60 | 60 | 60 | |
| قوة الضغط UItimate | كيلوواط | 0.39 | 0.44 | 0.5 | |
| منتج | وحدة | iPH100 | iPH200 | iPH610 | iPH1210 | iPH1210H | iPH1220 | iPH1810 | iPH1820 |
| مضخة جافة | م³/ساعة | 120 | 200 | 120 | 120 | 120 | 200 | 120 | 200 |
| الداعم | م³/ساعة | 1 | I | 600 | 1200 | 1200 | 1200 | 1800 | 1800 |
| سرعة الضخ القصوى | م³/ساعة | 120 | 200 | 700 | 1100 | 1100 | 1250 | 1800 | 1850 |
| الضغط النهائي | تور | 7.5×10-3 | 7.5×10-3 | 7.5×10-4 | 7.5×10-4 | 7.5×10-4 | 7.5×10-4 | 7.5×10-4 | 7.5×10-4 |
| قوة النظام في UIT. | كيلوواط | 2.1 | 3.5 | 2.6 | 3.0 | 3.2 | 4.5 | 3.9 | 4.7 |
| مدخل | ايزو | 63 | 63 | 100 | 100 | 100 | 100 | 160 | 160 |
| مَنفَذ | شمال غرب | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 |
| البعد (مم) | L | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 |
| W | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | |
| H | 526 | 526 | 780 | 780 | 780 | 780 | 830 | 830 | |
| وزن | كجم | 280 | 300 | 450 | 455 | 460 | 470 | 515 | 530 |
عنوان
567 طريق سونغوي الشمالي، منطقة سونغجيانغ، شنغهاي، الصين
هاتف
بريد إلكتروني